SOI

出典: ASCII.jpデジタル用語辞典

そい 【SOI】 Silicon On Insulator

1998年に米IBM社が発表した新しい半導体チップ製造プロセス技術。トラジジスタとシリコンとの間に、薄いシリコン酸化膜(絶縁膜)を形成することにより、シリコン層に滞留する電気を防ぎ、トランジスタの電気伝導率を向上させるもの。このSOIの技術の導入により、消費電力が少なく、高速なデータ転送が可能な半導体チップの製造が可能となった。


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